羅茨真空泵包含用于低真空的直排大氣型羅茨真空泵，以及用于中高真空的機械增壓泵與多級羅茨真空泵。為了實現在常壓下啟動，直排大氣型真空泵在結構上犧牲了真空度，通過加大轉子間隙、改變轉子結構、加強冷卻等方式實現在高壓差下運轉(多級羅茨泵則通過多級轉子串聯實現高壓差運轉)。
 

　　而我們會常用到的中高真空羅茨真空泵(機械增壓泵)，為了保證真空度與抽氣效率，不會采用上述的改變。如強行直排大氣，會造成羅茨真空泵的吸氣口與排氣口壓差太大，從而使真空泵過載，無法工作。此時，如果加大真空泵電機功率，熱量增加，則會造成真空泵轉子過熱無法散去，而殼體散熱較快，之間形成高溫差，以致于真空泵轉子熱膨脹加速，它們之間以及與泵腔的間隙消失，進而卡死。
 

　　因此為保證真空泵能達到較高真空度，需保證真空泵轉子及與泵腔之間的間隙。所以大部分中高真空真空泵使用時必須配備前級泵，利用前級泵將系統(tǒng)內壓力抽至一定范圍，再啟動真空泵，保證合理范圍內的出入口壓差，這樣就可以避免真空泵因高壓差而導致過載。
 

　　羅茨真空泵的前級泵，以前可以選用水環(huán)真空泵、油封式真空泵以及往復式真空泵等可直排大氣的真空泵。干式無油真空泵出現后，則可與真空泵組合形成寬范圍、大抽速的清潔無油真空系統(tǒng)，實現以往傳統(tǒng)泵種難以實現的清潔真空環(huán)境。